电科技9月11日消息，据报道，江苏太平洋石英股份有限公司的炉管系列产品，已通过国内一家头部DRAM制造商的认证，可用于300毫米晶圆生产。
太平洋石英此次认证的意义在于，这是国产高纯石英首次进入晶圆制造的核心工艺环节。此前，其产品已向泛林集团、东京电子等国际半导体设备巨头批量供应，包括LPCVD扩散管、晶舟、石英锭等，纯度达4N5至5N级。
此次通过DRAM厂商认证，标志着从石英砂提纯、炉管加工到供应晶圆厂的完整链条已基本实现国产化。太平洋石英自2009年起与南京大学团队合作，历经6年攻关，将超纯石英砂纯度做到99.999%，填补了国内空白。
然而，报道同时指出一个关键差距。太平洋石英的产品用于硅片制造完成后的晶圆制造环节，而半导体硅锭拉制所需的石英坩埚则处于更上游的硅片生产阶段，对纯度要求更高，需达5N以上且对关键杂质限制极为严格。
目前此类石英的大规模供应，仍被美国北卡罗来纳州Spruce Pine小镇的Sibelco和The Quartz Corp.垄断，两家合计控制全球超90%的高端石英砂市场。
业内分析认为，太平洋石英尚无法生产用于生长9N至11N纯度硅片的高规格坩埚。中国半导体材料在坩埚这一更上游的关键环节上，仍需时间实现突破。
