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落后西方近30年 就是奔腾4水平！俄罗斯称今年底掌握130nm光刻技术 意义最大
电科技7月28日消息，在成功造出两台150nm光刻机原型机之后，俄罗斯相关部门对外公开表态，将在今年年底正式完全掌握130nm全流程光刻技术。 俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心ZNTC目前已经正式启动两套设计工艺为150nm的电子束光刻系统原型…
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