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德国的卡脖子技术：蔡司独揽EUV镜头研发、4万零部件重达12吨
电科技8月1日消息，半导体工艺进入5nm节点之后，EUV光刻机基本上是没法绕过去的，目前全球只有荷兰ASML公司能够生产这种尖端装备，但它背后也离不开德国的核心技术——EUV镜头。 不论是DUV还是EUV光刻，三大核心技术主要是光源、物镜（…
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